愛德華半導(dǎo)體干泵EPX180L系列維修銷售，愛德華半導(dǎo)體干泵EPX180L/LE/N系列維修，愛德華干式真空泵EPX180L/LE/N的差別是什么？愛德華半導(dǎo)體干泵EPX180L系列現(xiàn)貨供應(yīng)，愛德華半導(dǎo)體干泵EPX180L系列維修配件哪里買，歡迎來電咨詢：13826954831? 楊生
新的緊湊型 EPX180 高真空干泵的特性是：工作性能更佳，運行成本更低。EPX180 使用了獨特的專利保護機械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5?Torr 的極限壓力。
模塊化 EPX180 基于備受贊譽、大獲成功的 IPX 系列，可提供卓越的性能，與 IPX 相比，包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。
EPX系列主要特性和優(yōu)勢
1.占地面積小且重量輕 – 作為可用的 最小工具上泵之一，EPX 顯著節(jié)省了 占地面積。鋁制構(gòu)造使其重量輕巧，增加了安裝 選項。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節(jié)省了前級管道和 安裝成本，如果需要也可遠程使用。
2.受專利保護的獨特泵機構(gòu) – EPX 可以從大氣壓抽空到 UHV 級基準壓力并可在所有入口壓力下連續(xù)運轉(zhuǎn)。
3.超清潔機構(gòu) – 傳統(tǒng)的高真空軸承使用油脂潤滑，這可能成為制程 工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承油脂，并且不存在 任何其他的潛在污染源。
4.非常可靠 – EPX 具有大約 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年維修一次，最大程度地延長了泵的 使用壽命。
5.運轉(zhuǎn)時的噪聲低至 56 dB(A)，可在潔凈室內(nèi)實現(xiàn)低噪聲。
EPX 系列支持清潔和輕 型半導(dǎo)體加工應(yīng)用，如灰化/剝離和注入端點 站應(yīng)用。
EPX 系列以極輕、極小的 封裝提供工具上泵送功能，可實現(xiàn)異常清潔的真空。EPX 泵 采用已獲專利的獨特單軸再生 Holweck? 分級機構(gòu)， 能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-7Torr 的極限壓力。
EPX 泵能夠以模塊化組件 提供增強的性能，既可集成到制程工具，又可以遠程 安裝。此外，通過集成的 MicroTIM 電子模塊還可以與制程工具 輕松建立通信連接。
EPX180L/EPX180LE技術(shù)參數(shù)：
| 峰值速度 | 170 m3h-1 |
| 105 ft3min-1 | |
| 2835 lmin-1 | |
| 極限真空 | |
| <1 x 104?mbar | |
| <7.5 x 10-5?Torr | |
| <1 x 10-2?Pa | |
| 預(yù)熱時間（達到標稱性能） | 30 分鐘 |
| 入口法蘭 | ISO63 |
| 出口法蘭 | NW25 |
| 噪音 | <59 dB(A) |
| 水接頭 | 3/8 in 快速 |
| 最小冷卻水流速 | 2 lm-1 |
| 冷卻水溫度 | 15 – 35°C |
| 電源供給 | 200/208 V，50/60 Hz 三相 |
| 極限功率 | 1.4 kW |
| 電機額定功率 | 3.0 kW |
| TIM | C3 |
| 重量 | 43.5 kg |
EPX180L訂貨號：
EPX180L 干泵 400V，3/8 水接頭
A41941014
EPX180L 干泵 208V C3 TIM 9/16 水接頭
A41941132
EPX180L 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接頭
A41941212
EPX180L 干泵 208V SPI TIM 1/4 水接頭
A41941222
EPX180L 干泵 208V E73 TIM 3/8 水接頭
A41941312
EPX180L 干泵 400V E73 TIM 3/8 水接頭
A41941314
EPX180L 干泵 208V TEL TIM 3/8 水接頭
A41941412
EPX180L 干泵 400V LAM TIM 3/8 水接頭
A41941514
EPX180L 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接頭
A41941712
EPX180L 干式泵 200V
A41941002
EPX180L 干式泵 200V，3/8 水接頭
A41941012
EPX180L 干式泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
A41941112
EPX180L 干式泵 400V 1/4 水接頭
A41941024
EPX180L 干式泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
A41941142
EPX180L 干式泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
A41941152
EPX180L 干式泵 400V SPI TIM 3/8 水接頭
A41941214
EPX180LE系列訂貨號：
EPX180LE 干泵 208V 無 TIM 3/8 水接頭
A4194301
EPX180LE 干泵 400V 無 TIM 3/8 水接頭
A41943014
EPX180LE 干泵 208V 無 TIM 1/4 水接頭
A41943022
EPX180LE 干泵 400V 無 TIM 1/4 水接頭
A41943024
EPX180LE 干泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
A41943112
EPX180LE 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接頭
A41943212
EPX180LE 干泵 208V SPI TIM 1/4 水接頭
A41943222
EPX180LE 干泵 400V SPI TIM 1/4 水接頭
A41943224
EPX180LE 干泵 208V TEL TIM 3/8 水接頭
A41943412
EPX180LE 干泵 208V Hitachi TIM 3/8 水接頭
A41943612
EPX180LE 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接頭
A41943712
EPX180LE 干泵 400V MCM TIM 3/8 水接頭
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EPX180LE 干泵 208V MCM TIM 1/4 水接頭
A41943722
EPX180“N”系列包括一個可提供氮清洗的氣體模塊，從而可將應(yīng)用范圍擴大為中等制程，在這類制程中預(yù)期存在的腐蝕性蒸汽和微粒的程度較低。
訂貨號：
EPX180N 干泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
A41942112
EPX180N 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接頭
A41942212
EPX180N 干泵 208V SPI TIM 1/4 水接頭
A41942222
EPX180N 干泵 208V E73 TIM 3/8 水接頭
A41942312
EPX180N 干泵 208V TEL TIM 3/8 水接頭
A41942412
EPX180N 干泵 400V TEL TIM 3/8 水接頭
A41942414
EPX180N 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接頭
A41942712
EPX180N 干泵 400V MCM TIM 3/8 水接頭
A41942714
EPX180N 干式泵 400V，3/8 水接頭
A41942014
愛德華真空泵由于產(chǎn)品的多樣化，所以每一個型號都有著很大的系列，不同的系列應(yīng)用在不同的行業(yè)有著非常明顯的效果，因此，在購買愛德華真空泵產(chǎn)品是需要謹慎選項，歡迎有任何愛德華真空泵需求的客戶來電咨詢。
